Ionenimplantation und Unterstützung von PVD Prozessen mit energetischen Ionen als innovativer Technologiefortschritt
Ionenimplantation und Unterstützung von PVD Prozessen mit energetischen Ionen als innovativer Technologiefortschritt
Kolitsch, A.
Die simultane Kombination verschiedener Ionenenergien mittels Plasma Immersions Ionenimplantation und reaktivem Magnetronsputtern zur Herstellung extrem glatter, superharter und haftfester tribologischer Schichten für Hochtechnologieanwendungen wird beschrieben
Keywords: PBII; PIII; TiN; cBN; PVD; super hard coatings
Involved research facilities
- Ion Beam Center DOI: 10.17815/jlsrf-3-159
Related publications
- DOI: 10.17815/jlsrf-3-159 is cited by this (Id 15639) publication
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Invited lecture (Conferences)
Oberflächenmodifikation von Werkstoffen, 13.05.2011, Zittau, Deutschland
Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-15639
