Properties of Ga implanted germanium and silicon


Properties of Ga implanted germanium and silicon

Fiedler, J.; Heera, V.; Skrotzki, R.; Herrmannsdörfer, T.; Voelskow, M.; Mücklich, A.; Skorupa, W.; Gobsch, G.; Helm, M.

Involved research facilities

Related publications

  • Lecture (Conference)
    Struktur und Eigenschaften dielektrischer Schichten für die Optik, 07.11.2012, Jena, Deutschland

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-17908