P1206 - Herstellung transparenter leitfähiger Titanoxidschichten, diese selbst und ihre Verwendung

Die Anmeldung beschreibt die Herstellung von dotierten Titandioxidschichten als transparentes leitfähiges Oxid (n > 2) und mögliche Einsatzgebiete des transparenten leitfähigen Oxids. Die Vorteile des erfindungsgemäßen Verfahrens sind: die Einsatzmöglichkeit zur Temperung dünner Schichten auf hoch-temperatursensiblen Substraten, der im Vergleich zum Stand der Technik für transparente leitfähige Oxide sehr hohe Brechungsindex von n ≈ 2,4 hergestellt werden können, der Resistenz gegenüber Umwelteinflüssen und der sehr viel kostengünstigeren Herstellung gegenüber zum Beispiel Indiumzinnoxid Durch die Verwendung der Blitzlampenausheilung kann die Herstellung des TCO von einigen Minuten bis Stunden auf wenige Millisekunden reduziert werden. Für die Kristallisation der amorphen Titandioxid-Schichten sind keine Vakuumanlagen notwendig, weil der Kristallisierungsprozess auch unter Normalbedingungen an Luft durchgeführt werden kann. Die kürzere Prozesszeit und der geringere Anlagenbedarf vermindern erheblich die Kosten des Herstellungsprozesses.