Untersuchung der Eisendisilizidbildung nach der Implantation von Fe in Si

Untersuchung der Eisendisilizidbildung nach der Implantation von Fe in Si

Dobler, M.; Reuther, H.

• Lecture (Conference)
  10. Arbeitstagung Angewandte Oberflächenanalytik AOFA 10, Kaiserslautern, Sept. 6-10, 1998

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-2204