Tiefenselektive Phasenanalyse der Fe-Silizidbildung in Fe-ionenimplantiertem Si mittels DCEMS

Tiefenselektive Phasenanalyse der Fe-Silizidbildung in Fe-ionenimplantiertem Si mittels DCEMS

Kruijer, S.; Walterfang, M.; Keune, W.; Dobler, M.; Reuther, H.

• Lecture (Conference)
  DPG-Frühjahrstagung, Regensburg, March 23-27, 1998

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-2246