Plasma-Immersions-Ionenimplantation für große Oberflächen
Plasma-Immersions-Ionenimplantation für große Oberflächen
Möller, W.; Günzel, R.; Mändl, S.; Richter, E.
- JOT 37 (1997) II-IV
Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-2333
Möller, W.; Günzel, R.; Mändl, S.; Richter, E.
Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-2333