Mikro- und Nanostrukturierung mit Ionenfeinstrahlen

Mikro- und Nanostrukturierung mit Ionenfeinstrahlen

Bischoff, L.; Hausmann, S.; Teichert, J.; von Borany, J.

• Lecture (Conference)
  Messe Technologie-Dialog Mikrosystemtechnik/Neue Materialien, Gera, April 9, 1997
• Lecture (Conference)
  Hannover Messe, April 1997 & Forschungsforum '97, Leipzig, Sept. 20, 1997

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-2370