Metall-Plasmaimmersions-Ionenimplantation und –abscheidung (MPIIID)

Metall-Plasmaimmersions-Ionenimplantation und –abscheidung (MPIIID)

Brückner, J.; Günzel, R.

• Lecture (Conference)
  8. Bundesdeutsche Fachtagung Plasmatechnologie, Dresden, Sept. 14 - 17, 1997

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-2379