Co-Implantation in Si(111) bei Stromdichten größer 1 A/cm²

Co-Implantation in Si(111) bei Stromdichten größer 1 A/cm²

Hausmann, S.; Bischoff, L.; Teichert, J.; Herrmann, F.; Grambole, D.

• Lecture (Conference)
  DPG-Frühjahrstagung, Münster, March 17 - 21, 1997

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-2393