Implantationsdefekte in Silizium: Der R_p/2-Effekt

Implantationsdefekte in Silizium: Der R_p/2-Effekt

Kögler, R.

• Lecture (Conference)
  34. Treffen des Dt. Arbeitskreises"Punktdefekte", MPI-FKF, Stuttgart, Nov. 26 - 27, 1997

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-2406