Kristallgitter-Einbau implantierter Ionen in 6H-SiC

Kristallgitter-Einbau implantierter Ionen in 6H-SiC

Wirth, H.; Voelskow, M.; Panknin, D.; Skorupa, W.

• Lecture (Conference)
  DPG-Frühjahrstagung, Münster, March 17 - 21, 1997

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-2478