Ionenimplantation aus Vakuumbogenplasmen

Ionenimplantation aus Vakuumbogenplasmen

Witke, W.; Siemroth, P.; Brückner, J.; Brutscher, J.; Richter, E.

• Lecture (Conference)
  8. Bundesdeutsche Fachtagung Plasmatechnologie, Dresden, Sept. 14 - 17, 1997

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-2479