Detektion von Defektzonen in ionenimplantiertem Si

Detektion von Defektzonen in ionenimplantiertem Si

Kögler, R.

• Lecture (others)
  MLU Halle-Wittenberg, FB Physik, Halle (Saale), Apr. 10, 1997

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-2498