Hochenergieimplantation in Silicium: Defekt-Engineering und Gettern
Hochenergieimplantation in Silicium: Defekt-Engineering und Gettern
Skorupa, W.
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Lecture (others)
Institut für Physik, FSU Jena, May 16, 1997
Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-2516