Schlußbericht: Anwendungsgerechte Systemintegration und Zuverlässigkeit für die intelligente mikro-mechanische Sensorik (AN-SYS), Teilvorhaben: Silizium-Glas- und Silizium-Silizium-Bonden

Schlußbericht: Anwendungsgerechte Systemintegration und Zuverlässigkeit für die intelligente mikro-mechanische Sensorik (AN-SYS), Teilvorhaben: Silizium-Glas- und Silizium-Silizium-Bonden

Schmidt, B.; Lange, K.; Harz, M.; Nitsche, P.

• Other report
  BMBF-Verbundprojekt, Förderkennzeichen 13 MV 0266, Mai 1997

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-2539