TRIDYN-Computersimulationen zur Schicht-Deposition von BN und zur Hochdosisimplantation in Si

TRIDYN-Computersimulationen zur Schicht-Deposition von BN und zur Hochdosisimplantation in Si

Schwieger, T.

• Other report
  Friedrich-Schiller-Universität Jena, April 1997

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-2547