Flexible and ultrathin magnetic field sensorics


Flexible and ultrathin magnetic field sensorics

Makarov, D.

Erst vor kurzem haben wir flexible Magnetoelektronik (Hall-Elemente und Magnetoresistive Sensoren) entwickelt. Die Kernidee der Technologie beruht auf der Kombination flexibler Polymermembranen und magnetisch hochempfindlicher metallischer Dünnschichten. Diese Synergie führt zu einzigartigen Eigenschaften und erlaubt die Gestaltung einer neuen Klasse von Magnetfeldsensoren mit einer neuartigen Funktionaltät der Verformbarkeit. Die Technologie erlaubt es, dass die magnetoelektronischen Elemente auch nach der Herstellung beliebige Formen durch Biegen, Verdrehen und Dehnen annehmen und somit auf gekrümmten Oberflächen integriert werden können.

Die formbare Magnetoelektronik weist zugleich mehrere kundenspezifische Vorteile hinsichtlich ereichbarer Sensorbauhöhen und –aktivflächen sowie Flexibilität im Vergleich zu konventioneller starrer Magnetfeldsensorik auf:

Verformbarkeit: Die Technologie erlaubt es, dass die magnetoelektronischen Elemente auch nach der Herstellung beliebige Formen durch Biegen, Verdrehen und Dehnen annehmen und somit auf gekrümmten Oberflächen integriert werden können.

Sensoraktivfläche: Es besteht die einzigartige Möglichkeit formbare magnetische Sensoren neben einer kleinflächigen Realisierung ebenso als grossflächige Sensoren, z. B. zur vorteilhaften Erfassung der mittleren magnetischen Flussdichte über eine planare oder beliebig gekrümmte Messoberfläche, kostengünstig herzustellen.

Geringe Bauhöhe: Unsere Technologieplatform ermöglicht Sensorbauhöhen von weniger als 150 μm. Das stellt eine Bauhöhereduktion von ca. 60% in Vergleich zu starrer Magnetfeldsensorik dar.

Keywords: flexible magnetic field sensors

Involved research facilities

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    12. Silicon Saxony Day, 20.06.2017, Dresden, Germany

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-25629