Ionenstrahlinduzierte Rekristallisation von amorphen SiC-Schichten

Ionenstrahlinduzierte Rekristallisation von amorphen SiC-Schichten

Höfgen, A.

• Lecture (others)
  Institut für Physik, TU Chemnitz, May 11, 1998

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-2586