Verfahren zur Herstellung von Monolagen aus Silizium-Nanoclustern in Siliziumdioxid

Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren zu schaffen, das die Erzeugung von Nanoclustern zur Ladungsträgerspeicherung im Siliziumdioxid in konkretem Abstand von der Siliziumdioxid/Silizium-Grenzfläche mit idealerweise unimodaler Größenvertei-lung, und in einer Monolage angeordnet, erlaubt, ohne daß von außen zusätzliche Stoffe in die Siliziumdioxid-Schicht eingebracht werden müssen.