Vakuumbogen-Plasmaquelle mit Magnet-Partikelfilter

Die Erfindung betrifft kathodische Vakuumbogenentladungen, bei denen störende Partikel aus dem Plasma entfernt werden sollen. Aufgabe der Erfindung ist eine kompakte Vakuumbogen-Plasmaquelle mit Magnet-Partikelfilter, bei der die Bogenentladung ohne Arbeitsgas stabil brennt.
Die Erfindung verbessert bekannte Vakuumbogen-Plasmaquellen mit Magnet-Partikelfilter dadurch, daß der größte axiale Abstand der dem Filter zugewandten Begrenzungsfläche der Anode von der Kathodenstirnfläche kleiner als der Durchmesser der Anodenöffnung gewählt wird und daß sich innerhalb des Körpers der Anode eine Kompensationsspule befindet, die in axialer Richtung zwischen der Stirnfläche der Kathode und der Filterspule angeordnet ist, wobei die Kompensationsspule und die Filterspule entgegengesetzt geschaltet sind, so daß deren Magnetfelder entgegengesetzt gerichtet sind.
Weiterhin werden eine Fokus- und / oder eine oder mehrere Steuerspulen in spezieller Position vorgeschlagen. Die Kathodenform kann kegelstumpf- oder scheibenförmig sein.