Verfahren zur Herstellung faden- und oder röhrenförmiger Mikrostrukturen in Festkörpern

Verfahren zur Herstellung faden- und oder röhrenförmiger Mikrostrukturen in Festkörpern

Heinig, K.-H.; Reiss, S.; Schmidt, B.; Skorupa, W.

• Patent
  DE 594 03 155 B 1
• Patent
  EP 0 623 950 B 1

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-3026