Atomistische Simulation der Ionenimplantation und ihre Anwendung in der Si-Technologie

Atomistische Simulation der Ionenimplantation und ihre Anwendung in der Si-Technologie

Posselt, M.

• Lecture (Conference)
  Institut für Physik der Universität Augsburg, January 28,1999

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-3154