Röntgenreflektometrie an Dünnschichtsystemen

Röntgenreflektometrie an Dünnschichtsystemen

Prokert, F.

Übersicht über die Methoden und Einsatzmöglichkeiten der Röntgenreflektometrie (XRR). Diskussion der Anwendungen der XRR bei Herstellung und Charakterisierung dünner Schichten und von Vielschichtsystemen. Als Beispiele wurden u. a. Ergebnisse eigener Messungen an der Rossendorfer Beamline (ROBL/ESRF)in Grenoble herangezogen.

Keywords: Röntgenreflektometrie; Oberflächenrauhigkeit; Dünnschichtsysteme

  • Lecture (others)
    Vortrag im Graduiertenkolleg der TU Chemnitz: "Dünne Schichten und nichtkristalline Materialien" Chemnitz , 8. Juni 1999

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-3208