Integrierter Optokoppler und Verfahren zu seiner Herstellung

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen integrierten Optokoppler und ein Verfahren zu seiner Herstellung vorzuschlagen, bei denen eine direkte monolithische Integration des gesamten Optokopplers in Silizium-Technologie mit geringem Aufwand erfolgen kann, wobei Einschränkungen bei der Herstellung des Optokopplers weitgehend vermieden werden sollen.

Die Erfindung geht von einem Optokoppler aus, bei dem Empfangs- und Sendeelement benachbart angeordnet und durch ein optisch transparentes und elektrisch isolierendes Material galvanisch getrennt sind.