Tiefenselektive Phasenanalyse der Fe-Disilizid-Bildung in Fe-ionenimplantiertem Si mittels DCEMS
Tiefenselektive Phasenanalyse der Fe-Disilizid-Bildung in Fe-ionenimplantiertem Si mittels DCEMS
Walterfang, M.; Kruijer, S.; Keune, W.; Dobler, M.; Reuther, H.
Mittels DCEMS wurde eine tiefenselektive Phasenanalyse der Fe-Disilizid-Bildung in Fe-ionenimplantiertem Si durchgeführt.
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Lecture (Conference)
Frühjahrstagung der DPG, Regensburg, 27.-31.3.2000
Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-3564
