Ausnutzung der anomalen Streuung bei Reflektivitätsuntersuchungen an Fe-Cr-Doppelschichten mittels Synchrotronstrahlung

Prokert, Friedrich; Gorbunov, A.; Schell, Norbert

Ausnutzung der anomalen Streuung bei Reflektivitätsuntersuchungen an Fe-Cr-Doppelschichten mittels Synchrotronstrahlung

Prokert, F.; Gorbunov, A.; Schell, N.

Reflektometrieuntersuchung von Fe-Cr-Schichten, die durch Laserablation (PLD) auf einem oxidierten Si(100)-Wafer aufgebracht wurden, mittels Synchrotronstrahlung unter Ausnutzung der anomalen Streuung im Bereich der Fe- bzw.Cr-Absorptionskante. Bestimmung der Interfacebreiten (Sigma rms Rauigkeit) und der Rauigkeitsstruktur (laterale Korrelationslänge und Rauigkeitsexponent) der Fe/Cr-bzw.Cr/Fe-Doppelschichten durch Simulationsrechnungen mit dem Programmcode REFS ( Bede Scientific).

Keywords: Reflektivitätsuntersuchungen; Synchrotronstrahlung; anomale Streuung; Fe-Cr-Multischichten; Interfacerauigkeit

Abstract in refereed journal
Supplement Issue No. 18. Zeitschrift für Kristallographie
Abstract in refereed journal
9. Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für Kristallographie (DGK) vom 12.-15. März 2001 in Bayreuth. (Oldenbourg Verl. München) Referate, S.100 Supplement No. 18 Zeitschrift für Kristallographie

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