Synthese und Bearbeitung von Nanostrukturen mit Ionenstrahlen


Synthese und Bearbeitung von Nanostrukturen mit Ionenstrahlen

Heinig, K.-H.

Unter Ionenbestrahlung laufen in der Festkörperoberfläche Prozesse weitab vom thermodynamischen Gleichgewicht ab. Übliche Prozeßabläufe können umgekehrt werden (z. B. inverses Ostwaldreifen), und geordnete Strukturen können sich ausbilden (z. B. wave-ordered-structures). Im Vortrag werden hierzu experimentelle und theoretische Untersuchungen vorgestellt. Es wird u. a. gezeigt, wie Nanocluster in Ordnungszustände gebracht werden können, die für mikroelektronische und mikrooptsche Anwendungen hochinteressant sind.

Keywords: Ionenstrahlsynthese; Nanocluster; Computersimulation; Thermodynamik

  • Lecture (others)
    Friedrich-Schiller Universität Jena, Physikalisch-Astronomische Fakultät, Vortrag am 17. 11. 2000

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-3679