Alternative Flüssigmetall-Ionenquellen

Als alternative Ionenquellen für Feinstrahlanlagen werden zur Ga-LMIS (liquid metal ion source) Flüssigmetall-Ionenquellen vorgestellt, die mit metallischen Legierungen arbeiten und so das Spektrum verfügbarer Ionen erweitern. Die Wirkungsweise sowie die Herstellungstechnologie werden diskutiert sowie vielfältige Anwendungen eines massenseparierten Ionenfeinstrahls (FIB = focused ion beam) dargestellt.