Ionenstrahlmodifizierung und Synthese von Halbleiter-Nanoclustern in dünnen Gate-Dielektrika für Flash- und EEPROM-Anwendungen

von Borany, J.

Keywords: Nanocluster; Ionenstrahlsynthese; Gateoxide; Nichtflüchtige Speicher; Si-Technologie

Lecture (others)
Kickoff-Meeting zum Projekt "KONSUL", Infineon Dresden, 23. August 2001

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-4640