Implantationsdotierung von Diamantschichten für Mikrosystem-Anwendungen

Implantationsdotierung von Diamantschichten für Mikrosystem-Anwendungen

von Borany, J.; Fontaine, F.; Heera, V.

no abstract delivered from author

Keywords: Diamant; Dotierung; Ionenimplantation

  • Other report
    Abschlußbericht zum BMBF-Projekt 16SV 548/2, Juni 2001

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-4641