Physikalische und technologische Grundlagen zum Engineering von Nanoclustern für nichtflüchtige Speicherzellen

von Borany, J.; Gebel, T.; Grötzschel, R.; Heinig, K.-H.; Klimenkov, M.; Schmidt, B.

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Keywords: Nanocluster; Ionenstrahlsynthese; Nichtflüchtige Speicher; Si-Technologie

Other report
Abschlußbericht zum SMWK-Projekt 4-7531.50-03-844-98/4, Juni 2001

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-4642