Entwicklung eines Justierdetektors für Elektronenstrahlanlagen

Entwicklung eines Justierdetektors für Elektronenstrahlanlagen

von Borany, J.; Beyer, V.

no abstract delivered from author

Keywords: Justierdetektor; MeV-Ionenimplantation; Elektronenstrahl-Lithografie; Si-Technologie

  • Other report
    Abschlußbericht zum BMBF/Leica Projekt "JD-50", Oktober 2001

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-4643