Der Fokussierte Ionenstrahl in der Nanotechnologie

Die Arbeit mit dem Fokussierten Ionenstrahl (focused ion beam = FIB) wird vorgestellt und erläutert. Beginnend mit den Ionenquellen (Flüssigmetall, - Flüssiglegierungs- Ionenquellen) über die Ionenoptik bis hin zu anlagenspezifischen Teilen werden Funktionsweise und Parameter dargestellt. Verschiedene Beispiele der Anwendung dieser hochauflösenden Strukturierungstechnik, speziell in der Nanotechnologie, werden aufgezeigt und insbesondere die Flexibilität und Vielseitigkeit dieser modernen Ionenstrahltechnik demonstriert.