Züchtung und Zähmung von Nanostrukturen mit Ionenstrahlen

Auf der Basis von Nanostrukturen gibt es völlig neue Funktionsprinzipien und
Bauelementekonzeptionen für die Elektronik und Optik. Es wird gezeigt, dass
der Ionenstrahl als etabliertes Werkzeug der Mikroelektronik auch bei der
Züchtung (Ionenstrahlsynthese) und Zähmung (Eigenschaftsänderung)
von Nanostrukturen ein technologiefreundliches Verfahren ist. Es müssen
Selbstorganisationsphänomene verstanden und eingesetzt werden, die bei der
Prozeßführung weitab vom thermodynamischen Gleichgewicht auftreten.
Hierzu gehören die inverse Ostwald-Reifung unter Ionenbestrahlung, die Ordnung von Präzipitaten bei der Phasenseparation und die Pearling-Instabilität. Zwei Anwendungen werden vorgestellt: Die Entwicklung eines nichtflüchtigen Halbleiterspeichers (nvRAM) und die Lichtleitung in Goldclusterketten für die Nanooptik (Plasmonics).