Ionenstrahlsynthese von Nanokristallen im System (Si,C): Strukturanalyse mittels Synchrotron-Röntgenstrahlung

Eichhorn, F.

Inhalt

Material: Halbleiter-Heterostrukturen aus SiC in Si, Diamant in SiC, SiC in Diamant
Ionenstrahlsynthese: Ionenverteilung im Material, Strahlenschäden, Temperatur-behandlung bei und nach Implantation
Bedeutung der Synchrotronstrahlung für die Materialforschung, Rossendorfer Beamline an der ESRF Grenoble
Materialcharakterisierung wie Phasen-bildung, Kristallitgröße und -orientierung, Gitterdeformation in Matrix und Kristallit mittels diverser Röntgenmethoden
Ausblick: simultane Doppelimplantation

Keywords: Ion beam synthesis; X-ray diffraction; nanocrystals

Lecture (others)
Gemeinsames Seminar des Instituts für Festkörperanalytik und Strukturforschung (im Institut für Festkörper- und Werkstofforschung Dresden) und des AK Dresden der Deutschen Gesellschaft für zerstörungsfreie Prüfung 27. 11. 2002

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-4985