Verfahren zur Behandlung Silizium-basierter Lichtemitter


Verfahren zur Behandlung Silizium-basierter Lichtemitter

Skorupa, W.; Nazarov, A.; Yankov, R.; Gebel, T.; Rebohle, L.

Die Oxiddegradation wird vermindert.

  • Patent
    Patentanmeldung 103 13 727.0
  • Patent
    Offenlegungsschrift 103 13 727 A1 2004

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-5710