Verfahren und Vorrichtung zum Ziehen von Einkristallen durch Zonenziehen
Verfahren und Vorrichtung zum Ziehen von Einkristallen durch Zonenziehen
Priede, J.; Gerbeth, G.; Hermann, R.; Behr, G.; Schultz, L.; Uhlemann, H.-J.
Es wird die verbesserte Stabilität des Züchtungsprozesses und eine verbesserte Qualität des Einkristalls erreicht.
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Patent
DE 103 28 859 A 1 -
Patent
WO 2004/113596 A1 -
Patent
DE 103 28 859 B4 - 27. Sept. 2007
Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-5718
