Atomistische Computersimulation von Ionenimplantation und ionenstrahlinduzierter Defektbildung und –evolution in Si und SiC

Atomistische Computersimulation von Ionenimplantation und ionenstrahlinduzierter Defektbildung und –evolution in Si und SiC

Posselt, M.

kein Abstrakt

  • Lecture (others)
    Seminar des Instituts für Materialphysik an der Universität Münster, Münster, Germany, December 1, 2003

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-5929