Möglichkeiten und Grenzen des Mikrostrahles für Channeling-Messungen

RBS - Channeling - Messungen werden routinemäßig zur Untersuchung von Kristallqualität und -defekten genutzt, wobei die Größe des Ionenstrahls üblicherweise im mm-Bereich liegt. Durch eine Verkleinerung des Strahldurchmessers in den µm-Bereich erschließen sich Möglichkeiten der Untersuchung von Mikrokristallen. Damit verbunden ist jedoch eine starke Erhöhung der notwendigen Fluenz des Ionenstrahles, die zu einer verstärkten Kristallschädigung während der Analyse führt.
Im Vortrag werden nach der Vorstellung der Rossendorfer Mikrochanneling-Apparatur die durch den Mikrostrahl erzeugten Kristallschädigungen diskutiert und daraus Grenzen für die Anwendung abgeleitet. Ein erstes Untersuchungsbeispiel soll die Möglichkeiten von Channeling-Messungen mit dem Mikrostrahl verdeutlichen.