MoBeE, Prozesssteuerung an der Molekularstrahl-Epitaxie-Anlage

MoBeE, Prozesssteuerung an der Molekularstrahl-Epitaxie-Anlage

Heer, R.; Wagener, M.; Winnerl, S.

Dokumentation zu einem IDL-basierten Steuerprogramm für die Prozesssteuerung einer MBE-Anlage

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    Jülich: Interner Bericht FZJ-ZEL-IB-500104, 2004
    86 Seiten

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-7038