Blitzlampenspiegelanordnung
Blitzlampenspiegelanordnung
Voelskow, M.; Anwand, W.; Skorupa, W.
Es wird eine Blitzlampenspiegelanordnung vorgestellt, die eine homogene und schnelle Erwärmung von Halleitersubstraten bei unwesentlich höheren Anlagenkosten ermöglicht.
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Patent
Patentanmeldung 10 2004 060 557.2
Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-7088