Low Energy Ion Beam Synthesis of SiNanocrystals for Nonvolatile Memories Modeling and Process Simulations

Low Energy Ion Beam Synthesis of SiNanocrystals for Nonvolatile Memories Modeling and Process Simulations

Müller, T.

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Wissenschaftlich-Technische Berichte / Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf; FZR-439 2005
ISSN: 1437-322X

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