Implantação Iônica por Imersão em Plasma de Nitrogênio Usando Baixa Energia

Implantação Iônica por Imersão em Plasma de Nitrogênio Usando Baixa Energia

Silva, G.; Ueda, M.; Rossi, J. O.; Reuther, H.

• Contribution to proceedings
  XII Encontro e Exposição Brasileira de Tratamentos de Superfície & II INTERFINISH Latino- Americano, 09.-11.05.2006, Sao Paulo, Brazil
  Proceedings of XII Encontro e Exposição Brasileira de Tratamentos de Superfície & II Interfinish Lat, paper 33

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