Blitzlampen-Prozessieren: Stress und Oberflächen-Schmelzen bei Silizium

Skorupa, W.

Überblick zu Stress und Oberflächen-Schmelzen bei Silizium infolge Blitzlampen-Prozessierens

Keywords: Flash lamp annealing; silicon; ion implantation

Invited lecture (Conferences)
Deutsches Nutzertreffen Kurzzeitausheilung, 23.11.2006, Villach, Österreich

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-9330