Advanced Thermal Processing of Semiconductor Materials in the msec-Range

Advanced Thermal Processing of Semiconductor Materials in the msec-Range

Skorupa, W.

Vortrag anlässlich der Begutachtung eines japanischen Grossprpojektes

Keywords: Flash lamp annealing; silicon carbide; silicon

  • Lecture (others)
    Projekttreffen OSTEC Advanced Quantum Beam Project, 27.09.2006, FZ Dresden-Rossendorf, Deutschland

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-9337