Blitzlampen-Temperung im msec-Bereich für die SiC-Si-Heteroepitaxie

Blitzlampen-Temperung im msec-Bereich für die SiC-Si-Heteroepitaxie

Skorupa, W.

Das Verfahren zur Blitzlampen-Temperung im msec-Bereich für die SiC-Si-Heteroepitaxie wird vorgestellt.

Keywords: flash lamp annealing; silicon; silicon carbide; heteroepitaxy

  • Lecture (others)
    Vortrag, Institut für Angewandte Physik, Universität Erlangen-Nürnberg, 11.11.2004, Erlangen, Deutschland

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-9941