Ion Beam Synthesis and Patterning by FIB

Die Ionenstrahlsynthese mittels Fokussierten Ionenstrahl (FIB) wird am Beispiel des Kobalt-Disilizides erläutert und demonstriert sowie Anwendungen aufgezeigt.
Weitere FIB Applikationen im Bereich der Nano-Technologie, wie das Vorstrukturieren (Templating), die Ga-Implantation und das selektive anisitrope nasschemiche Ätzen als auch die Metallorganische CVD mit dem FIB werden diskutiert.