Anwendung des feinfokussierten Ionenstrahles zur Fertigung mikromechanischer Bauelemente

Anwendung des feinfokussierten Ionenstrahles zur Fertigung mikromechanischer Bauelemente

Bischoff, L.; Teichert, J.; Hesse, E.; Geßner, T.; Löbner, B.; Breng, U.

• Forschungszentrum Rossendorf; FZR-31
  ISSN: 1436-3976

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Publ.-Id: 146