Laserinduzierte Breakdown-Detektion (LIBD)

Die LIBD ist eine Methode, die Kolloidpartikel in sehr niedrigen Konzentrationen zu vermessen vermag. Sie wurde bisher vorwiegend zur Untersuchung von Kolloidproblemen in der Umweltforschung eingesetzt. Wegen ihrer hohen Empfindlichkeit könnte die LIBD potentiell aber auch für die Überwachung von Reinst- und Prozesswässern in der Halbleiterindustrie interessant sein. Hier ist die etablierte Methode zur Überwachung der Partikelfreiheit von Wässern das Single Particle Counting (SPC), vor allem mit den kommerziellen Geräten von PMS und Horiba. Es wird gezeigt, dass (i) für Kolloidpartikel > 50 nm das SPC der LIBD bezüglich der Konzentrationsempfindlichkeit deutlich überlegen ist, (ii) für Kolloidpartikel < 50 nm die Konzentrationsempfindlichkeit der LIBD heute unbefriedigend ist (sie liegt über den zu vermutenden typischen Konzentrationen der Partikel < 50 nm in den Reinstwässern der Halbleiterindustrie), (iii) die LIBD die einzige Methode ist, die überhaupt eine Information über Partikel < 50 nm liefern kann und (iv) durch technische Weiterentwicklung die LIBD wahrscheinlich in den erforderlichen Bereich der Partikelkonzentrationsempfindlichkeit gebracht werden könnte. Die Methode würde (nach Weiterentwicklung) für die Halbleiterindustrie interessant, wenn Partikel der Größe < 50 nm als Verunreinigungen interessant werden.