Publications Repository - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf

Ionenstrahlinduzierte Wachstumsprozesse amorpher Schichten in Silicium

Henkel, T.

• Forschungszentrum Rossendorf; FZR-175 (Dissertation TU Dresden); März 1997
  ISSN: 1436-3976

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• FZR- 175, 6 MB PDF 5,9 MB

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